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一、DJM-300C太阳能硅片检测显微镜的特点和用途:
DJM-300系列太阳能硅片检测显微镜,选用优质的光学元件,配有超大视场目镜、落射照明器、平场长工作距离明暗场物镜,是针对半导体晶圆检测、太阳能硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业金相显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、广泛用于工厂、研究机构、高等院校对太阳能电池硅片、半导体晶圆检测、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。系统配置了优质无限远光路系统、三目透反射显微镜DJM-300C、500万高清晰数字摄像头及图像测量管理软件,可对太阳能电池板图像进行检查、拍照、测量、编辑和保存输出等多种操作。是太阳能电池硅片检查的理想仪器。
性能特点:
1、采用了较先进的光学显微镜与现代成像分析融为一体的图像测量技术。
2、可对太阳能电池硅片进行检查、拍照、测量、保存、输出等多种操作。
3、系统配置了优质无限远光路系统、大尺寸工作台的三目透反射显微镜。
4、可以测量太阳能电池片裂纹长度,崩边长度角度,印刷位移角度偏差。
5、可以测量主、副栅线,背电极的宽度、均匀度、栅线间距离及副栅线 到电池边的距离,栅线、断线长度,断线缺损和变色的面积。
6、可以检查太阳能电池表面颜色色差、绒面色斑亮斑,裂纹,崩边,掉 角缺口,印刷偏移主副栅线、背电极的断线,缺损,扭曲,变色等现象。
7、可对杂质、残留物成分进行分析。杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等。
三、DJM-300C太阳能硅片检测显微镜的参数及配置:
名 称 | 参数规格 | |
观察镜筒 | 铰链式三目观察筒,30度倾斜,100%通光摄影。瞳距调节范围:50-75mm,视度可调 | |
目镜 | 大视野目镜WF10X(Ф22mm) | |
大视野目镜WF15X(Ф16mm) (选购) | ||
大视野目镜WF20X(Ф12mm) (选购) | ||
WF10X(Ф22mm)大视野分划目镜(0.10mm/格) | ||
无限远长工作距离平场消色差物镜 | 明视场/暗视场金相物镜 | PL L40X/0.60 BD 工作距离:3.0 mm |
微分干涉物镜(DIC) | LMPlan5X/0.12 DIC 工作距离:18.2 mm | |
LMPlan10X/0.25DIC 工作距离:20.2 mm | ||
LMPlan20X/0.35DIC 工作距离:6.0mm | ||
调焦系统 | 粗微动同轴调焦机构,微动格值:2μm,左调焦带锁紧装置,右调焦带限位装置 | |
载物台 | 双层机械式移动载物台,外形尺寸:210mmX140mm,移动范围75mmX50mm. | |
载物板 | 透光玻璃载物板,大小:97*76mm | |
转换器 | 五孔内弯式物镜转换器(滚珠内定位) | |
偏光装置 | 插入式起偏、检偏装置,可360度旋转检偏镜,起偏和检偏均可移出光路 | |
DIC调节系统 | 适用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物镜 | |
暗场装置 | 推拉式暗场观察拉杆,快速明视场暗视场观察转换 | |
落射照明系统 | 12V50W卤素灯,亮度可调 | |
落射式柯勒照明系统,内置视场光栏,孔径光栏调节 | ||
可拆卸式灯箱,双引脚插入式灯座,灯箱外有灯丝位置移动旋钮 | ||
转盘式蓝、黄、绿、磨砂滤色片组 | ||
透射照明系统 | 12V30W 卤素灯,亮度可调 | |
阿贝聚光镜NA.1.25,可调孔径光栏,中心可调,可上下升降 | ||
集光器:可调视场光栏 | ||
蓝色和磨砂玻璃滤色片 | ||
电脑摄像系统 | CK-500彩色摄像机: 分辨率:2560×1920,功耗小,连接简单:USB接口, 图像质量好 ,色彩还原性好 ,图像稳定,所有摄像机均经过长时间测试 ,体积小,安装方便,采集方式:连续采集,图像大小可调,增益调节,曝光时间调整,增益调。 |
四、DJM-300C太阳能硅片检测显微镜系统的组成 :
1、微分干涉显微镜 2、摄像机接口
3、彩色数字摄像机CK-500 4、计算机(选购)
五、仪器选购件:
1、无限远长距平场消色差明暗场物镜: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X
2、摄影接口:0.5X摄像接口
3、摄像机: CK-1600像素摄像机,进口CCD芯片摄像系统
4、数码相机拍照系统:包含数码相机及专业相机接口
5、金相分析软件DM-3000
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